Eu não acho que há um problema. Os arquivos individuais têm esta declaração:
"* A ARM Limited (ARM) está fornecendo este software para uso com microcontroladores baseados em processador Cortex-M *. Este arquivo pode ser distribuído * livremente * nas ferramentas de desenvolvimento que suportam esses processadores baseados em ARM."
e também não vejo nada na licença que a impeça.
Há um diretório gcc na distribuição do CMSIS, o que implica que ele pode ser fornecido com ferramentas de código aberto.
Esta afirmação:
(i) usar e copiar a Especificação CMSIS com o objetivo de desenvolver, desenvolver, fabricar, fabricar, oferecer para vender, vender, fornecer ou distribuir produtos que cumpram a Especificação CMSIS, desde que você preserve quaisquer avisos de direitos autorais que sejam incluído ou incluído na especificação CMSIS e desde que você não use o nome, o logotipo ou as marcas comerciais da ARM para comercializar esses produtos;
implica que você pode incorporar o CMSIS em seu projeto de código aberto.