Não parece que nenhum software foi usado, mas uma boa prancheta à moda antiga, talvez alguns modelos de símbolos / estênceis / modelos de curva usados por alguém que provavelmente é um técnico especializado .
Fazer esses desenhos é um trabalho em que você realmente precisa de bastante experiência; portanto, o technischer Zeichner (pelo menos na Alemanha) é um Ausbildungsberuf adequado (uma ocupação reconhecida que exige treinamento formal).
Atualmente, você encontrará muitos softwares de desenho de circuitos, mas meu palpite é que seria necessário estendê-los um pouco para facilitar o desenho de diagramas herdados.
Fora isso, o software padrão de gráficos vetoriais pode ser usado para desenhar qualquer coisa que consista principalmente em elementos geométricos.