Esta será uma resposta "Meta" que se refere às outras respostas para corrigir alguns conceitos errados.
Durante a fabricação do VLSI, diferentes resoluções de litografia são usadas nos vários níveis e SOMENTE os detalhes mais modernos e mais refinados são usados no nível de definição GATE. Mesmo as etapas anteriores à definição de Poly Silicon são realizadas com ferramentas litográficas mais antigas (como a definição de área ativa STI - LOCOS etc.).
O motivo é muito simples: por que usar as ferramentas mais avançadas (e, portanto, mais caras) que usam as máscaras mais caras para definir camadas que inerentemente precisam de menos resolução?
De fato, o Top Metal tende a ser muito espesso para suportar mais corrente, para evitar a eletro-migração e reduzir a resistência dos trilhos de força.
Por exemplo, em um processo de 180 nm, a porta é definida usando litografia baseada em laser KrF a 248 nm, com uma máscara de mudança de fase 5X. Isso também é usado para contatos. O metal 1 pode ser feito em um stepper do que o i-line @ 365nm e também uma máscara 5X, mas sem a correção de fase aplicada.
O ponto é que as camadas superiores do chip têm uma resolução muito menor e um tom muito mais alto do que o que o processo é "definido como" - e mesmo essa definição fica estranha a maior parte do tempo.
O metal superior pode ter um tamanho mínimo de recursos de até 3um no processo de 180 nm acima, verifiquei.
A passivação da matriz superior é tipicamente Si3N4 ou poliimida. Que foi removido nessas fotos.
Portanto, o mais provável é que essas fotos sejam realmente visíveis tiradas em um microscópio. As cores podem ser porque a altura das estruturas está na ordem do comprimento de onda da luz e tem efeitos difrativos. Mas como não temos escala, não é seguro ser definitivo.
Mas poderia ser um ElectronMicrograph que foi colorido para "beleza". Parece vir da capa de um livro e quem sabe o que o departamento de arte faz lá.
Portanto, não estou disposto a dizer um dos outros que é óptico ou SEM. O @ W5VO observa que a profundidade de campo parece muito grande para a óptica, e eu concordo. Mas, se não conhecemos escala aqui, essas estruturas podem facilmente ter 10 mícrons, dada a época.
Nunca ouvi falar de um micrograma de elétrons - sob as convenções de nomenclatura padrão que se traduziriam em uma "pequena mensagem eletrônica", também não consigo encontrar links para nada que mencione isso. Então, eu adoraria ouvir o que isso pode ser.