Aqui está o que eu encontrei. O Procmon.exe de 32 bits contém o exe de 64 bits dentro dele como um recurso binário. Quando o exe de 32 bits é iniciado, ele extrai a versão de 64 bits para um arquivo oculto chamado Procmon64.exe e o executa. Por alguma razão, esse processo falha em algumas instalações do Windows 7.
Consegui extrair o exe de 64 bits usando o Visual Studio 2010.
- Abra o Visual Studio e abra o arquivo Procmon.exe usando o menu Arquivo-> Abrir-> Arquivo ...
- Na árvore de recursos, expanda o nó "BINRES"
- Clique com o botão direito do mouse no nó 1308 e selecione Exportar ...
- Nomeie o recurso exportado Procmon-64.exe e salve
- Execute o exe extraído
Não nomeie o exe extraído Procmon64.exe (sem hífen) porque o Procmon de 32 bits tentará excluí-lo se houver chance.
Se você não possui o Visual Studio, use um extrator de recursos executáveis do Windows, como ResourcesExtract - http://www.nirsoft.net/utils/resources_extract.html
procmon.exe /Run32
. No entanto, ele não suporta captura neste modo.